प्रदर्शन विवरण: मास्क अलाइनर EVG 6/2, गोल सब्सट्रेट (1", 2", 3", 4", 5", 6") के फोटोलिथोग्राफिक एक्सपोज़र के लिए, अधिकतम 10 mm मोटाई तथा 6" तक मास्क आकार। निर्माण वर्ष लगभग 1992। यद्यपि सब्सट्रेट होल्डर अधिकतम 6" है, विशेषकर 2010 में कई 8 इंच (200 mm) Si-वेफर दोनों ओर से सफलतापूर्वक एक्सपोज़ किए गए। अग्र और पश्च एक्सपोज़र (जैसे झिल्ली निर्माण के लिए) संभव। सॉफ्ट कॉन्टैक्ट; हार्ड कॉन्टैक्ट; वैक्यूम कॉन्टैक्ट।

Leistungsbeschreibung:Mask-Aligner EVG 6/2 zur photolithographischen Belichtung von runden Substraten (1", 2", 3", 4", 5", 6") mit max. 10mm Dicke sowie Maskengrößen bis 6". Baujahr ca. 1992.Obwohl max. 6"-Substrathalter wurden insbesondere 2010 sehr viele 8 Zoll (also 200mm) Si-Wafer erfolgreich beidseitig belichtet. | Vorderseiten- als auch Rückseitenbelichtung (z.B. zur Herstellerung von Membranen) möglich.Softkontakt; Hardkontakt; Vakuumkontakt; Proximity-Belichtung einstellbar. Intervallbelichtung für dicke, nicht chemisch-verstärkte Resiste möglichJustiergenauigkeit laut Spezifikation 1,25µm, realtistisch sind ca. 5µm.Belichtungswellenlänge: 365nmsub-µm Auflösung je nach Resistschichtdicke ist erreichbar | Zustandsbeschreibung:Letzer Service durch Hersteller EVG war geschätzt im Jahr 2012 oder 2015. | Maskenhalter und Substrathalter mit Lineal sind komplett, Austauschobjektive sind vorhanden. | Letzter Test am 05.08.2026 nach ca. 2 Jahren ohne Benutzung:Einschalten der Elektrik: okZünden der Quecksilberdampflampe: ok -> Lichtintegrator meldet "Lampe zu alt, sollte gewechselt werden"; Ersatztlampen können wir mitliefern.Starten der Elektronik: okAusgabe auf linken Röhrenmonitor: okTastaturfeld: ok (sieht übrigens aus wie am ersten Tag)WICHTIG: Vor dem Starten/Initailisieren muss die Hilfsposition angefahren werden. Sonst verklemmt sich die Tischmechanik und ein Ein-Mal-Passwort muss bei EVG "eingekauft" werden (~1500€)Anfahren der Hilfsposition: okInitialsierung: okLaden

स्वचालित अनुवाद। नीलामी घर का जर्मन पाठ प्रामाणिक है।

बिक्री की शर्तें

बिक्री के बारे में

प्रस्तुतकर्ता